특장점
-
디스플레이 제조 공정용 엑시머 램프 생산
- Excimer Lamp 국내 선두업체
- 개발 기술력 및 제조 Know-how 보유
-
Medical Application 시장 진출
- 치과용 임플란트 표면 개질 장치 세계 최초 개발(172nm 램프 적용)
- Excimer Lamp를 적용한 살균 제품 개발
-
반도체 공정용 부품/장비 생산
- 약액 승온 장비 CS Heater 양산
- 웨이퍼 산화막 제거 장치용 Applicator 양산
-
지속적인 기술 개발 및 권리 확보
- 現 특허 출원 33건(28건 등록)