옵틱

특수 광원과 응용기술을 개발하는 옵틱 사업부입니다.

Scroll Down
산업용 특수 램프 및
핵심부품 제조 사업부
특수 램프
특수 램프

옵틱사업부는 반도체, 디스플레이, 의료, 환경기술 등 기술분야의 세정, 표면개질, 살균 등의 공정에 사용되는 특수광원과 부품류를 개발, 생산하고 있습니다. 특히 세정공정에 사용하는 172nm 엑시머진공자외선램프는 삼성디스플레이와 엘지디스플레이에 유일한 국산화 파트너로서의 입지를 다지고 있으며 중국, 대만 등의 FPD제조사에도 제품을 공급하고 있습니다. 그리고 반도체 분야의 약액승온장치, 웨이퍼산화막제거장치 등의 부품류와 의료 및 환경 분야에서 172nm의 파장을 이용한 치과용 임플란트 표면처리장치, 222nm의 파장을 이용하여 인체에 직접조사가 가능한 살균장치를 개발, 공급하고 있습니다. 옵틱사업부는 광원을 활용한 기술분야와 국산화가 필요한 부품개발에 특화된 사업부로 발전할 것입니다.

특장점

  • 디스플레이 제조 공정용 엑시머 램프 생산
    • Excimer Lamp 국내 선두업체
    • 개발 기술력 및 제조 Know-how 보유
  • Medical Application 시장 진출
    • 치과용 임플란트 표면 개질 장치 세계 최초 개발(172nm 램프 적용)
    • Excimer Lamp를 적용한 살균 제품 개발
  • 반도체 공정용 부품/장비 생산
    • 약액 승온 장비 CS Heater 양산
    • 웨이퍼 산화막 제거 장치용 Applicator 양산
  • 지속적인 기술 개발 및 권리 확보
    • 現 특허 출원 33건(28건 등록)

주요제품

  • 엑시머 램프
    엑시머 램프
  • 엑시머 램프 조사장치
    엑시머 램프 조사장치
  • 치과용 임플란트 표면처리장치
    치과용 임플란트
    표면처리장치
  • 222㎚ 살균램프
    222㎚ 살균램프
  • CS Heater
    CS Heater
  • Applicator
    Applicator

Excimer VUV 처리 특성

Excimer Lamp 세정 원리

  • 01
    전기를 가하면 Xe는 Excited Dimmer (Excimer, Xe₂*) 형성
  • 02
    Xe₂*가 Xe로 기저상태 천이하며 172nm 진공자외선 방출
  • 03
    172nm 진공자외선은 Lamp 주위를 O₃ 분위기로 전환
  • 04
    피 처리물의 오염물질은 172nm 진공자외선에 의해 해리
  • 05
    오염물질은 대기중의 O₃에 의해 CO₂, H₂O, Oĸ 등으로 기화

Excimer Lamp 특성

  • Before
    Excimer Lamp before
    AVERAGE ANGLE [º] 31.88
  • After
    Excimer Lamp after
    AVERAGE ANGLE [º] 2.80
  • 고효율
  • 단일파장
  • 순시점등
  • 조도균일(~ ±10%)
  • 상온조사

공정

  • 01 Cutting 제품별 규격 준수
  • 02 Welding 발광관 접합
  • 03 Annealing 발광관 접합 중 발생 응력 제거
  • 04 Exhaust 배기 및 가스 봉입
  • 05 Aging 점등 Test
  • 06 Assembly 전극 형성 및 베이스 조립
  • 07 Packing 최종 검사 및 포장