特長
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ディスプレイ製造工程用エキシマランプ生産
- Excimer Lamp 韓国リーディングカンパニー
- 開発技術力および製造 Know-how 保有
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Medical Application 市場進出
- 歯科用インプラント表面改質装置を世界初開発(172nmランプ適用)
- Excimer Lamp を適用した殺菌製品の開発
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半導体工程用部品 / 装備生産
- 薬液昇温装置 CS Heater 量産
- ウェハー酸化膜除去部品 Applicator 量産
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持続的な技術開発および保護
- 現在、特許出願33件(28件登録)