オプティック

特殊光源と応用技術を開発するオプティック事業部です。

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産業用特殊ランプおよび
中核部品製造事業部
특수 램프
특수 램프

オプティック事業部は、半導体、ディスプレイ、医療、環境技術など技術分野の洗浄、表面改質、殺菌などの工程に使われる特殊光源と部品類を開発、生産しています。特に洗浄工程に使用する172nmエキシマ真空紫外線ランプは、サムスンディスプレイとLGディスプレイの唯一の国産化パートナーとしての地位を固めており、中国、台湾などのFPDメーカーにも製品を供給しています。そして、半導体分野の薬液昇温装置、ウェハー酸化膜除去装置などの部品類と医療および環境分野で172nmの波長を利用した歯科用インプラント表面処理装置、222nmの波長を利用して人体に直接照射が可能な殺菌装置を開発、供給しています。オプティック事業部は、光源を活用した技術分野と国産化が必要な部品開発に特化した事業部として発展していきます。

特長

  • ディスプレイ製造工程用エキシマランプ生産
    • Excimer Lamp 韓国リーディングカンパニー
    • 開発技術力および製造 Know-how 保有
  • Medical Application 市場進出
    • 歯科用インプラント表面改質装置を世界初開発(172nmランプ適用)
    • Excimer Lamp を適用した殺菌製品の開発
  • 半導体工程用部品 / 装備生産
    • 薬液昇温装置 CS Heater 量産
    • ウェハー酸化膜除去部品 Applicator 量産
  • 持続的な技術開発および保護
    • 現在、特許出願33件(28件登録)

主要製品

  • エキシマランプ
    エキシマランプ
  • エキシマランプ照射装置
    エキシマランプ照射装置
  • 歯科用インプラント表面処理装置
    歯科用インプラント表面処理装置
  • 222nm 殺菌ランプ
    222nm 殺菌ランプ
  • CS HEATER
    CS HEATER
  • アプリケーター
    アプリケーター

Excimer VUV 処理の特性

Excimer Lamp 洗浄の原理

  • 01
    電気を加えると、 XeはExcited Dimmer (Excimer, Xe2*)を形成
  • 02
    Xe2*がXeに基底状態に遷移して172nm 真空紫外線を放出
  • 03
    172nm真空紫外線は Lampの周囲をO₃雰囲気に転換
  • 04
    被処理物の汚染物質は 172nm真空紫外線により解離
  • 05
    汚染物質は大気中の O₃により CO₂、 H₂O、 Ok などに気化

Excimer Lampの特性

  • Before
    Excimer Lamp before
    AVERAGE ANGLE [º] 31.88
  • After
    Excimer Lamp after
    AVERAGE ANGLE [º] 2.80
  • 高効率
  • 単一波長
  • 瞬時点灯
  • 照度均一 (~±10%)
  • 常温照射

工程

  • 01 Cutting 製品別に規格遵守
  • 02 Welding 発光管接合
  • 03 Annealing 発光管の接合中に発生する応力を除去
  • 04 Exhaust 排気およびガス封入
  • 05 Aging 点灯テスト
  • 06 Assembly 電極の形成およびベースの組立
  • 07 Packing 最終検査および梱包