特点与优势
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生产显示器制造工艺用准分子灯
- 准分子灯韩国领先企业
- 拥有开发技术能力和制造 Know-how
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进军 Medical Application 市场
- 世界首次开发出牙科用种植牙表面改性装置 (应用172nm灯)
- 开发应用 Excimer Lamp 的杀菌产品
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生产半导体工艺零部件/设备
- 批量生产药液升温设备 CS Heater
- 批量生产晶圆氧化膜去除零部件 Applicator
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持续开发和保护技术
- 目前已申请33项专利 (注册28项)