光学

开发特殊光源和应用技术的光学事业部。

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工业用特殊灯具及核心零部件制造事业部
특수 램프
특수 램프

光学事业部主要负责开发和生产半导体, 显示器, 医疗, 环境技术等技术领域的清洗, 表面改性, 杀菌等工艺所使用的特殊光源和零部件类。尤其是清洗工艺中使用的172nm准分子真空紫外线灯巩固了公司作为三星显示和LG显示唯一的国产化合作伙伴的地位, 并且还向中国大陆和台湾地区等FPD制造商供应产品。此外, 该部门还开发和供应半导体领域的药液升温装置, 晶圆氧化膜去除装置等零部件类及医疗和环境领域利用172nm波长的牙科用种植牙表面处理装置, 利用222nm波长可直接照射人体的杀菌装置等。光学事业部将发展成为专门针对运用光源的技术领域及需要国产化的零部件开发领域的特殊事业部。

特点与优势

  • 生产显示器制造工艺用准分子灯
    • 准分子灯韩国领先企业
    • 拥有开发技术能力和制造 Know-how
  • 进军 Medical Application 市场
    • 世界首次开发出牙科用种植牙表面改性装置 (应用172nm灯)
    • 开发应用 Excimer Lamp 的杀菌产品
  • 生产半导体工艺零部件/设备
    • 批量生产药液升温设备 CS Heater
    • 批量生产晶圆氧化膜去除零部件 Applicator
  • 持续开发和保护技术
    • 目前已申请33项专利 (注册28项)

主要产品

  • 准分子灯
    准分子灯
  • 准分子灯照射装置
    准分子灯照射装置
  • 牙科用种植牙表面处理装置
    牙科用种植牙表面处理装置
  • 222nm 杀菌灯
    222nm 杀菌灯
  • CS HEATER
    CS HEATER
  • 敷料器
    敷料器

Excimer VUV 处理特性

准分子灯清洗原理

  • 01
    通电后, Xe形成Excited Dimmer (Excimer, Xe₂*)
  • 02
    Xe₂* 基态转变为Xe, 发射 172nm 真空紫外线
  • 03
    172nm 真空紫外线将 Lamp 周围转换为 O₃ 氛围
  • 04
    被处理的污染物在 172nm 真空紫外线的作用下分解
  • 05
    污染物在大气中的 O₃ 的作用下气化变成 CO₂、 H₂O、 Ok 等

Excimer Lamp 特性

  • Before
    Excimer Lamp before
    AVERAGE ANGLE [º] 31.88
  • After
    Excimer Lamp after
    AVERAGE ANGLE [º] 2.80
  • 高效
  • 单一波长
  • 瞬时亮灯
  • 照度均匀 (~±10%)
  • 常温照射

公正

  • 01 Cutting 遵守各类产品的规格
  • 02 Welding 发光管焊接
  • 03 Annealing 去除发光管焊接过程中产生的应力
  • 04 Exhaust 排气和充气
  • 05 Aging 点灯测试
  • 06 Assembly 形成电极及组装基座
  • 07 Packing 最终检查和包装