半导体设备用功能陶瓷及结构陶瓷零部件的全球合作伙伴
特点与优势
-
客户满意的最佳品质
- ISO 9001, 14001, 27000, 45001
- 拥有大型三维测量仪(4000x1600)和300mm Zygo干涉仪
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陶瓷零部件统一生产体系
-
功能性零部件制造
- ESC, AlN Heater, pBN 高温 ESC, Pulse Heater, Wafer Table
- 客户定制式产品 (设计模拟, 制作, 评估)
静电吸盘 (ESC)
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通过 Hot press 烧结生产高品质陶瓷材料
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ESC repair 技术
-
超精密表面形状控制技术
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(ESC)
(ESC)
| Item |
Unit |
AW100H |
AS250H |
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Color
|
-
|
Right gray
|
Black
|
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Relative density
|
%
|
≥ 99.7
|
≥ 99.0
|
|
Dielectric constant (1MHz)
|
F/m
|
10.5
|
11
|
|
Dielectric loss (1MHz)
|
-
|
2 X 10-3
|
2 X 10-3
|
|
Volume resistivity
|
RT
|
Ω•cm
|
2 X 1016
|
1 X 1016
|
|
Bending strength
|
MPa
|
≥ 500
|
≥ 500
|
|
Vickers hardness
|
HV
|
≥ 1800
|
≥ 2100
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热压粘合加热器
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设计并制造可以快速升温和冷却的热线
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通过控制结构制造高密度和高热导度的
AlN陶瓷烧结体
-
通过超精密加工技术实现高平坦度和高平行度
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熱圧着ボンディングヒーター
熱圧着ボンディングヒーター
| Properties |
Single-Zone |
Multi-Zone |
|
Use Temperature (℃)
|
>400℃
|
>400℃
|
|
Heating Rate (℃/sec)
|
200
|
40
|
|
Cooling Rate (℃/sec)
|
100
|
10
|
|
Thermal Conductivity (W/m·K)
|
200
|
200
|
|
Uniformity (@400℃)
|
<3℃
|
<10℃
|
|
Size (mm)
|
12, 16, 22
|
50, 60, 70, 120
|
AlN heater
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设计并制造温度密度均匀的多区域
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烧结高密度, 高品质的AlN复合陶瓷
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构现包括650℃ 以上高温工艺在内的各种工艺所需的体积电阻材料
-
抑制热线电阻, 实现均匀的温度偏差
-
最大程度减少RF-heater之间的漏电, 以便使用大功率等离子体
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AlN heater
AlN heater
| Properties |
A450 |
A550 |
A550 |
|
Density (g/㎤)
|
RT |
3.3
|
3.3
|
3.3
|
|
Volume Resistivity (Ω∙㎝)
|
RT |
E+14
|
E+15
|
E+15
|
|
Thermal conductivity (W/m∙k)
|
RT |
170
|
95
|
70
|
|
Coefficient of thermal expansion ( x 10-6/K)
|
RT-800 ℃ |
5.4
|
5.3
|
5.3
|
半导体 / OLED工艺零部件
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致密化 : 提高密度, 强度和耐等离子性
-
YAG材料制造技术:不含Al₂O₂
或YAM的YAG单相
-
比Al₂O₂优秀的耐等离子性
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半导体 / OLED工艺零部件
半导体 / OLED工艺零部件
| 区分 |
Al₂O₃ |
Y₂O₃ |
YAG |
|
Strength
|
|
|
|
|
Plasma resistance
|
|
|
|
|
Price
|
|
|
|
-
Al₂O₃
-
Y₂O₃
-
SiC
-
AlN
-
Si₃N₄
-
BN
-
YAG
-
ZrO2
YAG
Y₂O₃
Al₂O₃
Y₂O₃
SiC
AlN
Si₃N₄
BN
YAG
ZrO2
